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大尺寸液晶面板生产对AMHS提出更高要求

发布时间:2020-07-21 19:09:39 阅读: 来源:水泥发泡切割机厂家

液晶显示器从前主要用于笔记本电脑、台式机显示器等领域。随着时代的进步,从2004年开始,TFT-LCD在平板电视领域的应用规模日趋扩大,已经逐渐成为平板电视机和显示器的主角。为提高生产效率,液晶面板厂商加工的玻璃基板尺寸越来越大,AMHS(自动物料搬运系统)已经成为液晶面板生产中不可或缺的搬运设备。另外,AMHS的效率还将直接影响全厂的生产效率。

本文引用地址:随着平板电视尺寸越来越大,用于制造液晶显示器的玻璃基板也随之逐渐扩大。根据玻璃基板尺寸的大小,液晶面板生产线被划分为不同世代。第1代液晶玻璃基板的尺寸仅为300mm×400mm,目前的主流产品是第6代到第8代产品,其中第6代液晶玻璃基板的尺寸为1500mm×1800mm,而第8代液晶玻璃基板的尺寸达到2200mm×2600mm。如今,已经有些公司开始生产第10代产品,其玻璃基板尺寸达到2850mm×3050mm。

为了按照正确的规则调节通过彩色滤光片的光通量,需要在玻璃基板上制作TFT阵列,这是极为复杂的电路多层刻制工程。其中主要有薄膜(金属、电介质或导电玻璃)形成、喷涂光刻胶、部分屏蔽曝光、显影及刻蚀等工序,因为需要多次制作不同的薄膜图形,在生产过程中,玻璃基板需要在几个不同的生产区域之间往返进出。而实现这些搬运动作的设备和控制装置就是AMHS。在高度自动化的生产过程中,AMHS能够高效、及时、保质保量地将玻璃基板搬运到设定的装置处。液晶面板厂加工的玻璃基板趋于大型化,这对自动搬运系统提出了更高的要求。

在半导体生产系统尤其是12英寸集成电路厂房内,AMHS的应用也非常普遍,但半导体和液晶面板生产对AMHS的要求不尽相同。在半导体生产过程中,数十片直径为300mm的硅片放置在专用容器内进行搬运,其重量最多为10kg,担当主角的是天井走行式OHT(头顶运输)搬送设备。在工厂室内顶部设置的轨道上,几十台空中小车沿着轨道行走,在特定的制造装置处装卸POD(晶圆盒),并在各个制造装置之间多次来回往复。现在半导体AMHS中所需要解决的是如何减少无用的缓冲、如何使空中小车更加高速化、如何有效地控制走行、如何优化管理大量的空中小车等等。

对大尺寸TFT-LCD阵列生产而言,每次搬运的玻璃基板重量已达到1吨以上。因此,如何快速、准确地完成重达1吨的玻璃基板的搬运任务,保证较高的加速度、减速度,在搬运过程中不破损、少振动,并且要确保较高的生产节奏,这是AMHS提供商所面临的课题。

跟半导体生产一样,在液晶面板的加工过程中,AMHS还要满足洁净厂房的要求。TFT-LCD阵列工程是在厚度不足1毫米的玻璃基板上制作细小且复杂的TFT层,由于这一工程是左右液晶显示器品质的至关重要的工程,需要尽可能地避免灰尘的污染及振动影响。整个生产过程需要在严格控制洁净度的无尘室内生产。而AMHS是在清洁环境下工作的自动化搬送系统,它本身绝对不能成为“灰尘颗粒产生的源头”。

玻璃基板的表面积变大,更容易落上灰尘,因此在搬运过程中要避免产生灰尘,避免携带静电荷。而且,在玻璃基板的保存、搬运、交接等各个环节中所开设的通道也随玻璃基板尺寸的变大而变大,所以维持并确保所要求的洁净度变得越发困难。随着通道口的尺寸加大和数量增加,洁净室内空气流动越来越难以控制。

村田机械在洁净系统的AMHS行业内已经耕耘了20多年。在创业之初,村田机械是一家纺织机械生产商,此后不断将业务范围扩大至工业机械、物流系统、信息设备领域,是日本的主要工业机械厂商。在液晶制造行业的AMHS领域,村田机械的AMHS系统得到了众多用户的青睐,占有较大的市场份额。

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